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物理气相沉积

指数 物理气相沉积

物理气相沉积(Physical vapor deposition,PVD)是一種工業製造上的工藝,是主要利用物理过程来沉积薄膜的技术,即真空鍍膜(蒸鍍),多用在鈑金件、蝕刻件、擠壓件、金屬射出成型(MIM)、粉末射出成型(PIM)、機加件和焊接件等零件的工藝上。 和化学气相沉积相比,物理气相沉积适用范围广泛,几乎所有材料的薄膜都可以用物理气相沉积来制备,但是薄膜厚度的均匀性是物理气相沉积中的一个问题。 主要的物理气相沉积的方法有:.

目录

  1. 5 关系: 工艺化学气相沉积蒸鍍脉冲激光沉积金屬射出成型

  2. 半導體元件製程
  3. 薄膜沉积

工艺

工艺(Craft)是劳动者利用生产工具对各种原材料、半成品进行增值加工或处理,最终使之成为製成品的方法与过程。 制定工艺的原则是:技术上的先进和经济上的合理。由于不同的工厂的设备生产能力、精度以及工人熟练程度等因素都大不相同,所以对于同一种产品而言,不同的工厂制定的工艺可能是不同的;甚至同一个工厂在不同的时期做的工艺也可能不同。可见,就某一产品而言,工艺并不是唯一的,而且没有好坏之分。这种不确定性和不唯一性,和现代工业的其他元素有较大的不同,反而类似艺术。所以,有人将工艺解释为“做工的艺术”。.

查看 物理气相沉积和工艺

化学气相沉积

化學氣相沉積(chemical vapor deposition,簡稱CVD)是一種用來產生純度高、性能好的固態材料的化學技術。半導體產業使用此技術來成長薄膜。典型的CVD製程是將晶圓(基底)暴露在一種或多種不同的前趨物下,在基底表面發生化學反應或/及化學分解來產生欲沉積的薄膜。反應過程中通常也會伴隨地產生不同的副產品,但大多會隨著氣流被帶走,而不會留在反應腔(reaction chamber)中。 微制程大都使用CVD技术来沉积不同形式的材料,包括单晶、多晶、非晶及磊晶材料。这些材料有硅、碳纤维、碳奈米纤维、奈米线、奈米碳管、SiO2、硅锗、钨、硅碳、氮化硅、氮氧化硅及各种不同的等材料。CVD制程也常用来生成合成钻石。.

查看 物理气相沉积和化学气相沉积

蒸鍍

蒸鍍(Deposition)是指將金屬和氧化物等蒸發,使其於素材的表面附著形成一層薄膜的一種方法。蒸鍍可大略分為物理蒸鍍(PVD)與 化學蒸鍍(CVD)兩種。 接下來以PVD的一種真空蒸鍍來說明。.

查看 物理气相沉积和蒸鍍

脉冲激光沉积

脈衝雷射沉積(Pulsed Laser Deposition,PLD),也被稱為脈衝雷射燒蝕(pulsed laser abalation,PLA)為物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)的一種, 是一種利用聚焦後的高功率脈衝雷射於真空腔體中對靶材進行轟擊,由於雷射能量極強,會將靶材汽化形成電漿蕈狀團(plasma plume),並沉澱於基板上形成薄膜。 於鍍膜可於高真空、超高真空或通入工作氣體(如欲沉積氧化物薄膜,通常會通入氧氣作為其工作氣體)的環境下進行。 於脈衝雷射沉積的過程中,雷射的能量被靶材吸收之後,能量首先激發靶材內部的電子躍遷,之後再轉成熱能等使靶材汽化形成電漿態,於電漿雲中,包含分子、原子、電子、離子、微粒、融球體等物質。 Category:半導體物理學 Category:薄膜沉積 Category:雷射机械加工 Category:雷射應用.

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金屬射出成型

金屬射出成型(Metal Injection Molding,縮寫MIM)或稱「粉末射出成型」(Powder Injection Molding)、「陶瓷射出成型」(Ceramic Injection Molding),乃結合塑膠射出成型、高分子聚合物化學、粉末冶金技術及金屬材料科學的革命性技術,由美國加州於1973年發表。其技術利用超微金屬粉末與結合劑, 經過混合、混煉、加熱及造粒等工程製成射出成型原料,具流動性,透過高精密特製模具(射出機)成型為生胚,再經脫臘脂、燒結等程序,或自動化快速製造高密度、高精度且形狀複雜的金屬零件,具減少傳統金屬加工的程序與成本之優點。最後依照產品功能及規格需求,必要時進行第2加工,例如熱處理、表面處理等。,台中精機1973年發表後,只看到成果,如何做出成品,仍待研究,俟1990年代紐約-zh-cn:伦斯勒理工学院; zh-hant:壬色列理工學院;-(RPI)粉末射出學教授蘭德爾·M·吉門(Randall M.

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另见

半導體元件製程

薄膜沉积