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硅酸铪
硅酸铪是铪的硅酸盐，化学式HfSiO4。 在现代半导体元件中，可以使用由原子层沉积、化学气相沉积或MOCVD生长的硅酸铪和硅酸锆薄膜，作为高κ电介质替换二氧化钛。二氧化铪中的硅增大了能隙，同时降低相对电容率。此外，它还提高了非晶膜的结晶化温度，并进一步增强了材料在高温下与硅的热稳定性。有时会向硅酸铪中加入氮以提高热稳定性和设备的电性能。.
鋯石
鋯石（Zircon），是一種天然礦物，化學成份為矽酸鋯（Zirconium Silicate, ZrSiO4）。可含微量的铁、锰、钙、铀、钍等成分。由于铀、钍等放射性元素的存在，可使锆石的结晶程度有不同程度的降低。锆石是一种硅酸盐矿物，它是提炼金属锆的主要矿石。锆石广泛存在于酸性火成岩，也产于变质岩和其他沉积物中。锆石的化学性质很稳定，所以在河流的砂砾中也可以见到宝石级的锆石。锆石有很多种，不同的锆石会有不同的颜色，如红、黄、橙、褐、绿或无色透明等等。经过切割后的宝石级锆石很像是钻石。锆石过去还被叫作锆英石或风信子石。锆石可以耐3000℃以上的高温。一般首饰类耐高温度750℃-1250℃。.
无机化合物
无机化合物即无机物，一般指不含碳元素的化合物，如水、食鹽、硫酸等。但一些簡單的含有碳元素化合物如一氧化碳、二氧化碳、碳酸、碳酸鹽、氰化物和碳化物等，由於它們的組成和性質與其他无机化合物相似，因此也作為无机化合物來研究。絕大多數的无机化合物可以歸入氧化物、酸、鹼、鹽四大類。.
